羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵，通常壓縮比很低，故高、中真空泵需要前級泵。靠泵腔內(nèi)一對葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動氣體而實現(xiàn)抽氣的真空泵。羅茨真空泵是指具有一對同步高速旋轉(zhuǎn)的鞋底形轉(zhuǎn)子的機械真空泵，此泵不可以單獨抽氣，前級需配油封、水環(huán)等可直排大氣。

    它的結(jié)構(gòu)和工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似，工作時其吸氣口與被抽真空容器或真空系統(tǒng)主抽泵相接。這種真空泵的轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵殼之間互不接觸，間隙一般為0.1~0.8毫米；不需要用油潤滑。轉(zhuǎn)子型線有圓弧線、漸開線和擺線等。

    漸開線轉(zhuǎn)子泵的容積，加工精度易于，故轉(zhuǎn)子型線多用漸開線型。羅茨真空泵的轉(zhuǎn)速可高達3450~4100轉(zhuǎn)/分；抽氣速率為30~10000升/秒（1升=10-3米3）；真空：單級為6.5×102帕，雙級為1×103帕。

    羅茨泵的真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外，還取決于前級泵的真空。為了提高泵的真空度，可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn)，被抽氣體從進氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi)，再經(jīng)排氣口排出。